檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "黃柏仁".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="場效電晶體"
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本研究主要分為三部份,首先以Cu(B)薄膜作為硼摻雜來源,透過快速升溫化學氣相沉積系統(Rapid thermal chemical vapor deposition system, RTCVD)來…
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隨者電子產業的進步,傳統型金氧半電晶體在微型化之後面臨一些可靠度問題,例如短通道效應、熱載子效應、閘極引起位障降低效應。穿隧型場效電晶體在高度微型化可以提供較小的短通道效應、小的熱載子效應以及降低閘…